Se depositaron películas de óxido de zinc codopadas con galio y aluminio (GAZO) a diferentes temperaturas mediante pulverización catódica en línea. El aluminio es térmicamente inestable en comparación con otros elementos de las películas GAZO. Los granos de las películas GAZO aumentan con la temperatura de deposición. En las películas GAZO depositadas a 250°C se observó coalescencia entre los granos. La temperatura de deposición influye positivamente en la cristalinidad y en las propiedades eléctricas y ópticas de las películas de GAZO. La concentración de portadores y la movilidad de las películas GAZO aumentan, mientras que la resistividad eléctrica de las películas GAZO disminuye con la temperatura de deposición. La transmitancia óptica media de las películas GAZO aumenta con la temperatura de deposición. El sputtering en línea demuestra ser un método potencial con simplicidad, producción en masa y deposición de gran área para producir películas de GAZO con buena calidad eléctrica y óptica. Las películas de GAZO depositadas a 250°C presentan una resistividad eléctrica de 4,3 × 10-4 Ω cm y una transmitancia óptica media en el rango visible de 400 a 800 nm del 92%. Las células solares orgánicas híbridas (OSC) se fabricaron sobre sustratos de vidrio recubiertos con GAZO. Los materiales fotoactivos de las OSC fueron una mezcla de poli(3-hexiltiofeno) (P3HT) y éster metílico del ácido [6,6]-fenil C61 butírico (PCBM). La eficiencia de conversión de potencia del OSC es de 0,65 o la del OSC con el electrodo GAZO depositado a 250°C.
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