El siguiente video es un seminario, el cual se centra en las tecnologías de envasado al vacío para una variedad de dispositivos MEMS. Estos incluyen metal tradicional y paquetes de cerámica, así como numerosas técnicas de unión de la oblea-a oblea. Se discuten MEMS de procesamiento de métodos incluyendo la preparación de la oblea, el grabado, y la incorporación getter, así como una serie de aplicaciones de MEMS que requieren el envasado al vacío.
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Folleto:
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Tesis:
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