Resumen

La metrología en línea utilizada para la fabricación de películas, la vibración de la película causada por el movimiento del equipo o las perturbaciones ambientales ocasiona desenfoque y distorsión de las imágenes BFP recibidas. En este artículo se propone un método de bajo coste para corregir los errores espectrales elipsométricos del BFP inducidos por las vibraciones, basado en una calibración inicial el ángulo incidente de los radios en diferentes posiciones de desenfoque, los errores son corregidos insertando una matriz de compensación de Jones calibrada en un modelo del sistema. Los resultados experimentales mostraron que este método mejora significativamente la precisión de la medición sin compensación del desenfoque de vibración.

• Materias:Detección de defectos Medición Mejoramiento de procesos Películas delgadas
• Subjects:Defect detection Mensuration Process improvement Películas delgadas
• Palabras claves:Microelipsometría; Plano focal posterior; Medición antivibración; Película delgada
• Keywords:Microellipsometry; Back focal plane; Antivibration measurement; Thin film