Se depositaron películas delgadas de Cu sobre sustratos de Si mediante pulverización por magnetrón de corriente continua (DC). La evolución de la microestructura y las propiedades mecánicas de las películas delgadas de Cu con diferentes temperaturas de recocido se investigaron mediante microscopía de fuerza atómica (AFM), difracción de rayos X (XRD) y nanoindentación. La morfología superficial, la rugosidad y el tamaño de grano de las películas de Cu se caracterizaron mediante AFM. La minimización de la energía, incluyendo la energía superficial, la energía de interfaz y la energía de deformación (energía de deformación elástica y energía de deformación plástica), controló la evolución microestructural. Se observó una relación Hall-Petch clásica entre la tensión de fluencia y el tamaño de grano. La tensión residual dependía de la orientación del cristal. La tensión residual tal y como se depositó era de tensión y disminuía con la disminución de la orientación (111). La relación del coeficiente de textura de (111)/(220) puede utilizarse como mérito para el estado de la tensión residual.
Esta es una versión de prueba de citación de documentos de la Biblioteca Virtual Pro. Puede contener errores. Lo invitamos a consultar los manuales de citación de las respectivas fuentes.
Artículo:
Campo elástico-plástico cerca de la línea de la grieta para grietas de modo I bajo la condición de tensión plana en coordenadas rectangulares
Artículo:
Simulación y diseño de un sistema óptico de metrología 3D basado en una micropantalla OLED bidireccional
Artículo:
Estimación de la cinética de oxidación y de la posición del vacío de la escala de óxido de los aceros ferríticos-martensíticos en agua supercrítica
Artículo:
Métodos de deposición de recubrimientos micro y nanoestructurados sobre implantes óseos metálicos: Una revisión
Artículo:
Propiedades de transporte de carga de una lámina delgada de a-Si:H de HWCVD bajo presión de flexión
Folleto:
Análisis de rentabilidad económica y financiera
Artículo:
Emisiones globales de gases de efecto invernadero provenientes de materiales de construcción residencial y comercial: estrategias de mitigación para 2060
Guía:
Manual de operaciones de destilación
Artículo:
¿Por qué debemos conservar la fauna silvestre?