Se fabricaron películas delgadas de aleación de molibdeno-telurio mediante evaporación por haz de electrones y las películas se recocieron en diferentes condiciones en ambiente de N2. Las películas delgadas hexagonales de ditellururo de molibdeno con buena cristalización se recocieron a 470°C o más mediante reacciones en estado sólido. Las medidas de estabilidad térmica indican que la formación de MoTe2 tuvo lugar a unos 350°C, y que se produjo una sutil pérdida de peso en el intervalo entre 30°C y 500°C. La evolución de la química de las láminas delgadas de Mo-Te se realizó para investigar el crecimiento de las láminas delgadas de MoTe2 libres de cualquier fase secundaria. También se investigó el efecto de otros tratamientos posteriores a la deposición sobre las características de la película.
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