Hemos investigado las transformaciones estructurales y de fase en películas de Ti de 200-300 nm de espesor tratadas con vapor de agua, mantenidas a temperatura ambiente, mediante la inyección de vapor de agua en plasma de radiofrecuencia (RF) a diferentes potencias de procesamiento. Se utilizó la microscopía electrónica de barrido (SEM) combinada con la microscopía óptica y el análisis de la nanotopografía de superficie para ver las huellas de las capas de agua adsorbidas y para detectar las protuberancias o ampollas aparecidas en la superficie de las muestras tratadas. Se han observado superficies rugosas con agujeros de diferente tamaño (5-20 μm) en todo el espesor de la película. Los resultados de la difracción de rayos X muestran que la tasa de oxidación de la película de Ti aumenta drásticamente en presencia de agua adsorbida en la capa hidrofílica. Se supone que el factor definitorio que controla la cinética de oxidación es la formación de radicales hidroxilo.
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